潔凈室的定義：將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)的溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)的房間。 　　由以上之定義，我們可知構(gòu)成潔凈室須俱備以下各項(xiàng)因素： 　　

1 .能除去空氣中飄游之微塵粒子?！　?/span>

2 .能防止微塵粒子之產(chǎn)生?！　?/span>

3 .溫度和濕度之控制?！　?/span>

4 .壓力之調(diào)節(jié)。　　

5 .有害氣體之排除。　　

6 .結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。　　

7 .靜電之防制?！　?/span>

8 .電磁干擾之預(yù)防?！　?/span>

9 .安全因素之考慮?！　?/span>

10.節(jié)能之考量。 

FFU在使用壽命及維護(hù)上已經(jīng)實(shí)踐證明無(wú)可擔(dān)心。當(dāng)前其改進(jìn)主要是： 

（1）取均流及減少噪音的措施，噪音可在50db以?xún)?nèi)； 

（2）動(dòng)機(jī)采用DC/EC（電子整流電機(jī)），以耗較原交流電機(jī)節(jié)約近50%，因?yàn)樾★L(fēng)機(jī)所用小容量（功率<1P）的交流電機(jī)，一般皆為電容分相式或隱極式，其效率僅40%左右，而DC/EC電機(jī)的效率可達(dá)75%～80%；在調(diào)速控制上可每臺(tái)單獨(dú)的以過(guò)濾器降壓進(jìn)行控制以節(jié)約能耗，但目前投資回收期尚長(zhǎng)而未廣泛采用，一般常用分組群控或全部群控。 

（3）但FFU出口靜壓不能過(guò)大，一般采用出口風(fēng)速0.38m/s，此時(shí)其靜壓一般在250Pa以?xún)?nèi)。 

FFU回風(fēng)系統(tǒng)與其他方式相比的優(yōu)點(diǎn)  

優(yōu)點(diǎn)： （1）靈活性大，便于改造；                                                        

（2）占用建筑物空間較少； 

（3）潔凈凈室內(nèi)空氣壓力大于回風(fēng)靜壓室，排除靜壓室對(duì)潔凈室污染的可能性。 

缺點(diǎn)： （1）要求回風(fēng)道全部阻力（包括多孔地板、格柵及風(fēng)道）、干表冷器阻力及末級(jí)過(guò)濾器的阻力（在初阻力時(shí)），總共應(yīng)控制在165Pa左右，以滿(mǎn)足運(yùn)行時(shí)阻力在250Pa以?xún)?nèi)。因此干表冷器的傳熱面積要較大，回風(fēng)道尺寸亦要較大，多孔地板及格柵等的阻力要小，一般作法是：控制干表冷器阻力在50Pa左右，回風(fēng)道阻力在15Pa以?xún)?nèi)，否則就需要再增設(shè)加壓風(fēng)機(jī)系統(tǒng)，這就是降低了FFU系統(tǒng)的綜合優(yōu)點(diǎn)。  

（2）采用DC/EC電機(jī)后，單位風(fēng)量的能耗可能比當(dāng)前一般大型離心風(fēng)機(jī)的集中系統(tǒng)為低，但已有研究指出，比采用改進(jìn)后的大型軸流風(fēng)機(jī)的回風(fēng)系統(tǒng)的能耗還是要高。因此需要注意大型軸流風(fēng)機(jī)的效率提高及其系統(tǒng)的阻力降低的因素。 

一般FFU系統(tǒng)由于單位風(fēng)量的能耗較大，因此潔凈室的冷負(fù)荷亦相應(yīng)增加。   具體情況下的評(píng)價(jià)  FFU用于老建筑物改造成潔凈室時(shí)，其綜合經(jīng)濟(jì)性一般往往可取。 

潔凈度要求嚴(yán)的潔凈室，末級(jí)過(guò)濾器滿(mǎn)布率100%時(shí)，對(duì)大的系統(tǒng)采用FFU，當(dāng)前還是不經(jīng)濟(jì)的；對(duì)小系統(tǒng)有意義作具體比較。  對(duì)潔凈度要求不甚嚴(yán)的潔凈室，末級(jí)過(guò)濾器滿(mǎn)布率≤40%時(shí)對(duì)大系統(tǒng)綜合經(jīng)濟(jì)性往往相差不多，但對(duì)IC工廠(chǎng)而言，FFU系統(tǒng)的靈活性是重要的，因此當(dāng)前IC工廠(chǎng)對(duì)過(guò)濾器滿(mǎn)布率≤40%時(shí)，采用FFU系統(tǒng)已經(jīng)普遍。 

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